掃描狹縫光斑分析儀是一種用于準(zhǔn)確測(cè)量激光光束質(zhì)量的高精度儀器，特別適用于微米級(jí)小光斑和高功率激光的檢測(cè)。它通過(guò)狹縫或刀口掃描激光光斑的橫截面，逐點(diǎn)采集光強(qiáng)分布，進(jìn)而重構(gòu)光斑的形狀、尺寸、能量分布、發(fā)散角及M²因子等關(guān)鍵參數(shù)。
工作原理
激光掃描：通過(guò)高精度掃描系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)激光束或待測(cè)光斑移動(dòng)，形成一系列掃描線。
光斑探測(cè)：利用狹縫結(jié)構(gòu)對(duì)掃描線上的光斑進(jìn)行逐點(diǎn)取樣，探測(cè)器(如硅探測(cè)器、鍺探測(cè)器或熱釋電探測(cè)器)實(shí)時(shí)記錄光強(qiáng)分布。
數(shù)據(jù)處理：將探測(cè)器輸出的電信號(hào)解析為光斑參數(shù)，包括尺寸、形狀、能量分布、發(fā)散角及M²因子等。
主要特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：
高分辨率與微小光斑測(cè)量能力
掃描狹縫式光斑分析儀可測(cè)量*小達(dá)2.5μm甚至更小的光束直徑，分辨率可達(dá)0.1μm，在微納光學(xué)、半導(dǎo)體光刻等對(duì)精度要求高的領(lǐng)域具有明顯優(yōu)勢(shì)。相比之下，相機(jī)式分析儀受限于像素尺寸，難以準(zhǔn)確捕捉小于幾十微米的光斑細(xì)節(jié)。
高功率激光測(cè)試能力強(qiáng)
由于每次僅允許狹縫處的光通過(guò)并被探測(cè)器采集，避免了一次性接收全部光功率導(dǎo)致的飽和問(wèn)題，因此可在不加衰減片的情況下直接測(cè)量高達(dá)近10W的連續(xù)或脈沖激光，簡(jiǎn)化操作并提升測(cè)試穩(wěn)定性。
雙模式切換設(shè)計(jì)
部分型號(hào)支持狹縫模式與刀口模式自由切換，適應(yīng)不同光束直徑的測(cè)量需求：狹縫模式適合中等尺寸光斑，刀口模式則更適用于*小光斑的高精度測(cè)量。
寬波長(zhǎng)適用范圍
不同型號(hào)覆蓋190nm至2700nm甚至更寬的波段，兼容紫外、可見(jiàn)光、近紅外及中紅外激光源，滿足多場(chǎng)景應(yīng)用需求。
